单晶硅拉制工安全操作规程.docx

单晶硅拉制工安全操作规程 　　 1. 检查好晶轴、坩祸轴的旋转、升降是否灵活均匀。如果过紧时调节炉膛上的密封圈，紧固到不漏气为准。若拧时不漏气但旋转升降不灵活均匀，则要更换密封圈。 　　 2. 真空泵运转的方向应按规定的方向旋转，否则可能引起机械泵油倒灌到扩散泵中去。若真空泵电动机电源线有松掉或断落现象时，应将真空泵和扩散泵连接的塑料管拉掉，调整电动机旋转方向。 　　 3. 使用扩散泵必须避免油的氧化。 　　 4. 封炉时须检查炉门橡皮是否有油污物，是否能起密封作用，同时检查炉膛内有没有多余物件。 　　 5. 增温前要开冷却水，并检查水是否畅流，以防烧坏设备。 　　 6. 运动部件如导轨、丝杠等经常要擦洗、润滑。籽晶轴和坩锅要经常用纱布酒精或甲苯擦干净。采用水冷却要防止漏水生锈。 　　 7. 炉膛内要保持光亮清洁。，工作之后应及时清除氧化物，炉膛应常关闭。炉子不工作时，必须保持真空度，以使石墨件不受潮湿且能延长扩散泵使用寿命。 　　 8. 密封圈和橡皮垫，切忌用油和酒精之类擦拭，也不得压得过紧。 　　 9. 先开主机箱风扇电动机使风扇转动，风向向上，说明相序正确。再打开 “ 增热 ” 按钮。若发现相序不对，风扇不转，应立即停止增热排除故障。 　　 10. 首先将细调调至中间位置进行主回路送电。打开操纵台上的总电源开关，操纵台上各个开关与相应的部分应正常工作。总励磁有指示才能开直流电动机 ( 籽晶、坩埚、轴 ) 。 　　 11. 主机箱中因有鼓风机振动，每隔一段时间应打开箱子检查各螺钉是否有松动现象，如有松动应立即拧紧。 　　 12. 操纵台的边线有其相位关系，操纵台与回路之间也有同位关系，一经调好之后，就不要再动。检查修理时若要拆线必须做好标志，以免搞错。 　　 13. 用化学方法腐蚀已清洗完毕的多晶硅 ( 回炉多晶 ) 后，要每块仔细地检查有无氧化物，若有蚀渣氧化物须重新腐蚀。 　　 14. 装料时必须检查石英坩埚有无裂纹，有无白点和气泡，装料要装稳。 　　 15. 籽晶必须装牢，也不得装歪 ( 偏离轴心线不大于 3℃) 。 　　 16. 装炉时必须检查炉内石墨件有无裂纹、氧化层和短路现象，增热器和电极是否接触良好。同时热部件要装得正，炉子漏气时不准熔硅。 　　 17. 掺杂时一定要把籽晶提高，置于掺杂勺上方。 　　 18. 拉晶中途出了事故被迫停炉时，应把石墨托升到最高位置。 　　 19. 不同厂、不同炉次多晶柱制高阻单晶时，每炉多晶柱应分开使用，以利拉制高低阻单晶。 　　 20. 真空复合计的指示必须大于 0.133 帕 (0.001 毫米汞柱 ) 以上才能开硅管增热器进行测量，真空度要大于 0.0133 帕 (0.0001 毫米汞柱 ) 才能进行除气，除气不能超过 5 分钟。 　　 21. 用自来水冷却时先打开 7 号水龙头 ( 注：水龙头编号系根据设备具体情况确定 ) ，再打开 4 号水龙头，最后开房内的总龙头 ( 在开自来水之前要把调压开关关紧。 6 号水龙头也要关好 ) ，即可使用。 　　 22. 用水泵时需看 7 号水龙头的流量，流量过大将调压开关开大，过小将调压开关关小，否则压力过大会损坏设备。 　　 23. 若水槽水温升高而自来水压力不够则按以下程序操作： 　　 (1) 将 5 号水龙头打开， 　　 (2) 将 7 号水龙头打开，炉内热水从地流出。 　　 24. 若发现外压升高，应将房内总水龙头关掉，然后关水泵。当炉子处在增热状态时应按第 22 条使用。 　　 25. 装好炉以后用电表测量电极与坩锅轴是否短路，若有短路应立即排除。